冷凍機(jī)-工業(yè)冷凍機(jī)-高低溫一體機(jī)
產(chǎn)品特點(diǎn)
Product Features
品頁(yè)特點(diǎn)圖標(biāo)-1.png)
產(chǎn)品參數(shù)
Product Parameter
| 型號(hào) | ETCU-005W | ETCU-015W | ETCU-030W | ETCU-050W | ETCU-100W | ETCU-200W | ETCU-300W |
| 溫度范圍 | 冷卻水溫度 +5℃~90℃ | ||||||
| 控溫精度 | ±0.05℃（出口溫度穩(wěn)態(tài)） | ||||||
| 冷卻水溫度 | 7℃~30℃ 采用西門(mén)子/霍尼韋爾調(diào)節(jié)閥控制冷卻水流量 | ||||||
| 冷卻能力 | 5kW | 15kW | 30kW | 50kW | 100kW | 200kW | 300kW |
| 測(cè)試條件：最大循環(huán)量時(shí)，控溫溫度與冷卻水溫度溫差15℃ | |||||||
| 流量/壓力 MAX | 7~20L/min 5bar | 15~40L/min 5bar | 20~60L/min 5bar | 40~110L/min 5bar | 150~250L/min 5bar | 250~500L/min 5bar | 400~650L/min 5bar |
| 儲(chǔ)罐容積 | 5L | 10L | 20L | 30L | 60L | 120L | 240L |
| 外形尺寸 cm | 48*75*39 | 48*75*39 | 48*75*50 | 定制 | 定制 | 定制 | 定制 |
行業(yè)應(yīng)用
APPLICATION
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半導(dǎo)體FAB工藝過(guò)程控溫解決方案
半導(dǎo)體制造是一個(gè)對(duì)環(huán)境要求極高的過(guò)程，許多工藝步驟對(duì)溫度非常敏感。
精確的溫度控制能夠確保沉積的薄膜厚度均勻、成分準(zhǔn)確，從而提高芯片的性能和良率。
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半導(dǎo)體封測(cè)工藝過(guò)程控溫解決方案
半導(dǎo)體封測(cè)工藝是半導(dǎo)體生產(chǎn)流程中的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，包括晶圓測(cè)試、芯片封裝和封裝后測(cè)試。這一流程不僅要求高度的精確性和可靠性，還需要對(duì)溫度進(jìn)行嚴(yán)格控制，以確保產(chǎn)品的質(zhì)量和性能。
